1. טוהר
לטוהר מטרת הטיטניום יש השפעה רבה על המאפיינים של סרטים מנותקים. ככל שהטוהר של המטרה גבוה יותר, כך פחות חלקיקי יסוד הטומאה בסרט המקרטע, וביצועי הסרט טובים יותר (כגון עמידות בפני קורוזיה, תכונות אופטיות וחשמליות). ביישומים מעשיים, דרישות הטוהר של מטרות טיטניום למטרות שונות שונות. . לדוגמה, דרישות הטוהר של מטרות עבור ציפויים דקורטיביים כלליים אינן תובעניות, בעוד שלמטרות עבור מעגלים משולבים, גופי תצוגה ושדות אחרים יש דרישות גבוהות בהרבה לטוהר, בדרך כלל בסביבות 99.999 אחוזים ומעלה.
2. גודל גרגר ממוצע
בדרך כלל מטרת הטיטניום היא בעלת מבנה רב גבישי, וגודל הגרגיר יכול לנוע בין מיקרונים למילימטרים. קצב הקפיצה של מטרת הדגן בגודל דק מהיר יותר מזה של המטרה בעלת הגרעינים הגסים. גם פיזור העובי של הסרט שהופקד בתרסיס אחיד יחסית. גודל הגרגיר הממוצע של מטרות טיטניום עבור מעגלים משולבים נדרש בדרך כלל להיות בטווח של 30 מיקרומטר, וגודל הגרגיר הממוצע של מטרות טיטניום עם גרגירים עדינים הוא מתחת ל-10 מיקרומטר.
3. אוריינטציה קריסטלית
לטיטניום מבנה משושה צפוף. במהלך הקפיצה, אטומי מטרת טיטניום ניתזים בקלות לאורך כיוון הסידור המשושה של האטומים. לכן, על מנת להשיג את קצב הקפיצה הגבוה ביותר, ניתן להגביר את קצב הקפיצה על ידי שינוי מבנה הגביש של המטרה. קצב הקפיצה. לכיוון ההתגבשות של מטרת הטיטניום יש גם השפעה רבה על אחידות העובי של שכבת הסרט המקרטע, וגודל הסרט של התצוגה השטוחה והציפוי הדקורטיבי עבה יחסית, כך שהדרישות לכיוון התבואה של יעד הטיטניום המקביל הן נמוך יחסית.
4. גיאומטריה וגודל
זה בא לידי ביטוי בעיקר בדיוק העיבוד ובאיכות העיבוד, כגון גודל עיבוד, שטוחות פני השטח, חספוס וכו'. עובי קטן ישפיע על חיי השירות של היעד; משטח איטום מחוספס מדי וחריץ איטום יגרמו לבעיות ואקום לאחר התקנת המטרה; חיספוס פני השטח המקרטעים של המטרה יכול להפוך את פני היעד למלאים בקצוות בולטים, תחת פעולת אפקט הקצה, הפוטנציאל של הקצוות המוגבהים הללו יגדל מאוד, ובכך יפרק את הפריקה הדיאלקטרית. עם זאת, בליטה גדולה מדי פוגעת באיכות ויציבות הקפיצה.
החברה שלנו יכולה לספק סגסוגות טיטניום כגוןמטרות ספוטר טיטניום אלומיניוםומטרת מקרטעת טיטניום Ti, כמו גם מטרות טיטניום של טוהר וצורה שונים, וגם לקבל שירותים מותאמים אישית. במידת הצורך, אנא צור איתנו קשר במייל.
